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PFCs는 (Perfluoro Compounds) 과불화물 즉 불소 가 함유된 화학물질을 통칭해서 이해하시면 됩니다. 식각(Etch), 화학기상증착(CVD) 등과 같은 반도체 공정에 주로 PFCs 계열의 물질이 사용되며 배출 총량 기준으로는 CO2 의 수천 분의 일에 불과하 지만 지구온난화 지수 (GWP) 가 수천 에서 수만에 이르는 심각한 지구온난화 물질에 해당하여 배출 허용을 제한하고 있습니다.
이미지 출처: PFCs 제거 기술의 최신 동향, KONETIC REPORT
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